光學測量儀器的正確使用和良好的維護保養，是保證儀器處于良好運行狀態、保持其固有準確度、延長使用壽命的有效措施。儀器的維護保養，除了避免機械撞擊、誤操作和保持儀器外表的清潔之外，主要是金屬裸露表面的防銹和光學系統的光學元件的防霉、防霧維護。

因此應注意以下幾點：
 

1.首先，光學測量儀器應放在清潔干燥的室內，要盡量避免光學零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運動導軌，因為這樣會影響儀器的性能。

2.在使用完畢后，工作面應隨時擦拭干凈，再罩上防塵套。
 

3.光學測量儀器的傳動機構及運動導軌、應定期涂潤滑油，使機構運動順暢，保持良好的使用狀態。
 

4.工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦拭干凈。
 

5.光學測量儀器的所有電氣接插件、一般不要拔下，如果已經拔掉了，我們就必須按標記正確插回并擰緊螺。